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產(chǎn)品展示

8寸探針臺PW-800

● Failure analysis 集成電路失效分析 ??????????

● Wafer level reliability?晶圓可靠性認證

● Device characterization 元器件特性量測 ????

● Process modeling?塑性過程測試(材料特性分析)

● IC Process monitoring 制程監(jiān)控 ????????

● Package part probing IC封裝階段打線品質(zhì)測試

● ESD&TDR testing ?ESD和TDR測試 ?????????????????????

● Microwave probing 微波量測(高頻)

● Solar太陽能領(lǐng)域檢測分析 ?????????????????????????????

● LED、OLED、LCD領(lǐng)域檢測分析


8寸探針臺PW-800

參數(shù)列表如下:

項 目

性能指標

備注

可測圓片尺寸

4,6,8 inch

 

X、Y工作臺

行程

X/Y:8 inch x 8 inch

 

分辨率

1μm

 

控制

進口導軌

 

CHUCK

平面度

≤10μm

背面需要加電極(可選)

晶圓固定方式

真空吸附,分檔控制

Chuck Z軸(可選)

行程

10mm

 

分辨率

1μm

 

Chuck θ軸(可選)

微調(diào)范圍

±7o (分辨率為0.1°)

 

Platen 平臺

材料

非拋光型不銹鋼+特種鋁合金

 

容量

6-8個DC針座或者4個RF針座

 

微調(diào)旋鈕

分辨率為1um 

移動范圍為25mm

導軌式移動

 

升降

8mm行程的升降抬桿,可鎖定

重復度精度為±2um

 

上、下片

方式

手動

 

行程

90 mm

 

顯微鏡

配置

(1)體式顯微鏡 

     目鏡:20X

     變倍范圍:0.75X-5X

     總放大倍數(shù):15x-100x

     LED 光源照明

(2)金相顯微鏡

     目鏡:20x

     Zoom:1-2x 

     物鏡:2x,10x,20x,50x

     總放大倍數(shù):20x-1000x

     光纖光源系統(tǒng)     

根據(jù)客戶測試參數(shù)要求而定

行程

X/Y: 2 inch x 2inch (分辨率:1um) 

   Z: 2inch

 

抬起功能

顯微鏡可抬起,便于切換鏡頭。抬起后可以鎖定,防止掉落。

 

屏蔽罩(可選)

L1350*W900*H1300mm

 

防震桌(可選)

W*D*H:1100*800*900mm


可選附件:

● 射頻測試探頭及電纜      ● 有源探頭     ● 低電流/電容模塊     ● 高壓模塊     ● 激光修復      ● 高清數(shù)字相機     ● 探針卡/封裝/PCB板夾具     ● Hot Chuck

兼容測試儀器:

● 各種型號示波器      ● 各種品牌型號的源表      ● 是德B1500、4155、4156      ● 泰克4200      ●各品牌的網(wǎng)絡(luò)分析儀


PW-800 探針臺安裝環(huán)境要求

A 操作環(huán)境要求:

1

環(huán)境溫度:18-28°C

2

相關(guān)濕度:20%-60%

3

現(xiàn)場要求:水平地板且足夠承受設(shè)備重量

                 較小的機械震動

                 通風良好且無陽光直射

                 靠近電源設(shè)備

                 切勿靠近易爆、有毒氣體

B 設(shè)備要求:

4

電源

系統(tǒng): 無

配件: ? 220V交流額定值,50Hz

           ? 真空泵:220V/50HZ, 14W, 0.16A

           ? 空壓機:220V/50HZ,額定電流2.8A,輸出功率580W

           ? CCD:輸入220V/50HZ,額定電流0.31A,輸出12V/1.0A

           ? 顯微鏡光源:220V, 50HZ, 200W

5

壓縮空氣

空氣要求

氣壓

流量

連接器外徑

潔凈、干燥、無油
   (防震臺用)

0.4-0.6 MPa (58-87 psi)

/

6mm

6

真空

/

<400mbar absolute,-610mbar gage

5 l/min(0.18 CFM)at SATP

6mm

C 運輸和安裝要求:

7

外形尺寸

物理尺寸(WxDxH)

717mm寬*758mm長*607mm高/717mm寬*758mm長*800mm高(含顯微鏡)

屏蔽箱:1350mm長*900mm寬*1300mm高

防震桌:1200mm長*800mm寬*800mm高

貨運尺寸(WxDxH)

探針臺及配件貨箱:980 x 840 x 900mm

屏蔽箱貨箱:1500 x 1050 x 1350mm

防震桌貨箱:1200 x 810 x 720mm

8

重量

探針臺重量

120 kg

貨運重量(帶包裝)

探針臺及配件貨箱:150 kg

屏蔽罩(帶防震臺):300 kg




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